ファンダリーサービス
エッチング
エッチングでは、フォトリソの工程でレジストを除去した部分のウェハに、回路(パターン)を刻み込んでいきます。
薬液やプラズマなどのイオンを使うことで、ウェハ上の不要部を除去(パターンを刻む)できます。
必要な部分はレジストで覆われているため、エッチングの影響はありません。
また、レジストはエッチングの次の工程で除去され、最終的にはパターンが刻まれたウェハだけが残ります。
弊社のエッチングサービスの特徴がここに入ります。
エッチング
| Oxide | SiO2, TiO2, Ta2O5, 等 |
| Metal | Cr, Al, Ta, Ti, 等 |
| 窒化物 | SiN, TiN, 等 |



