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ファンダリーサービス

Foundry Service

ファンダリーサービス

エッチング

エッチングでは、フォトリソの工程でレジストを除去した部分のウェハに、回路(パターン)を刻み込んでいきます。

薬液やプラズマなどのイオンを使うことで、ウェハ上の不要部を除去(パターンを刻む)できます。

必要な部分はレジストで覆われているため、エッチングの影響はありません。

また、レジストはエッチングの次の工程で除去され、最終的にはパターンが刻まれたウェハだけが残ります。

弊社のエッチングサービスの特徴がここに入ります。

エッチング

Oxide SiO2, TiO2, Ta2O5, 等
Metal Cr, Al, Ta, Ti, 等
窒化物 SiN, TiN, 等