設計・開発支援

開発

弊社では、下記の開発支援もおこなっております。

大きなデバイスから小さなデバイスまで対応しておりますので、まずはお気軽にお問い合わせください。

微細加工例：SWSの製造

SWSとは、subwavelength structure の略で、波長よりも小さい構造体を持つデバイスのことです。
※例：AR、WGP、位相板等

そのため、SWSの製作には波長よりも細かな加工が必要になります。

これまでの実験レベルだと、EBや干渉露光装置を利用するのが一般的です。

しかし、描画時間に制約があるため、量産向けではありません。

そこで半導体技術を応用することによって、量産化も見据えた加工技術が手に入るようになります。

この際に問題となることは以下が挙げられますが、いずれもNIL（ナノインプリントリソグラフィ）が一つの解となっています。