このページでは、ナノオプティクスの制作例や加工例、テクノロジー利用例を紹介しています。

この他にも、お客さまのご要望に応じて少量生産から対応いたします。

お気軽にご相談くださいませ。

弊社の制作例の紹介

弊社の制作例・加工例を紹介します。

1. マルチパターニング
2. WGP（ワイヤーグリッド偏光子）
3. シームレスモールド
4. DOE
5. 位相板
6. その他

①マルチパターンニングの制作例

パターニング→Oxide ALD→エッチング→レジスト除去の、各過程ごとの断面図はこちらです。

パターニングの際はP=160nmでしたが、レジスト除去までおこなうとP=80nmになりました。

②WGP（ワイヤーグリッド偏光子）

③シームレスモールド

④DOE

⑤位相板

⑥その他

テクノロジー利用例の紹介

弊社のテクノロジーを利用した例を紹介します。

1. WGP（ワイヤーグリッド偏光子）
2. CGH
3. DOE
4. DNA シーケンサー用チップ

①WGP（ワイヤーグリッド偏光子）用途例

<電子ミラー>

②CGH用途例

<CGH証明モード>

適切な波長やご希望の光形状に合わせて設計・製作が可能です。

もちろん、別の照明モードを作成することもできます。(例：アニュラー・ダイポール・クロスポールなど)

※上記はKrF(λ=248nm)のみの為、0次光が出射します。しかし、λ=248nmでは2%未満です。

③DOE用途例

<顔認証モジュール>

<レーザーイメージング>

④DNA シーケンサー用チップ

<DNA チップ>